MEMS傳感器加速崛起！小巧智能，引領(lǐng)未來(lái)

2024-06-20 14:49:48

次

MEMS 傳感器是采用微電子和微機械技術(shù)工藝制造出的微型傳感器。與傳統傳感器需要多種機械配件相比，MEMS 技術(shù)可以把配件全部集成在一塊很小的 MEMS 芯片上，具有輕重量、功耗低和批量生產(chǎn)的特點(diǎn)，滿(mǎn)足了小體積、高性能的要求。

作為專(zhuān)業(yè)的傳感器解決方案提供商，煒盛科技在MEMS傳感器方面碩果累累，有基于MEMS工藝的氣體傳感器、溫濕度傳感器、熱式流量傳感器、塑封壓力傳感器、熱電堆傳感器等多品類(lèi)MEMS產(chǎn)品及解決方案，并以?xún)?yōu)秀的品質(zhì)贏(yíng)得了市場(chǎng)的廣泛贊譽(yù)。

GM系列氣體傳感器

MEMS氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)，傳感器的電導率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

MEMS氣體傳感器具有結構堅固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動(dòng)電路簡(jiǎn)單、穩定性好、壽命長(cháng)等特點(diǎn)。可檢測包含燃氣、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。

熱電堆溫度傳感器

● 熱電堆溫度傳感器，是基于MEMS工藝將上百對熱電偶串聯(lián)而成。利用塞貝克原理，當目標與環(huán)境之間存在溫度差時(shí)，傳感器輸出對應的電壓，從而檢測出目標存在或目標的溫度。

熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應率、高重復性、高可靠性和穩定性的特點(diǎn)。在額溫/耳溫等非接觸體溫測量、家用電器（空調、護發(fā)吹風(fēng)機、油煙機等）溫度測量與控制以及空氣調節系統、電力管理系統等領(lǐng)域應用廣泛。

氣體流量傳感器

氣體流量傳感器采用新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)，利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測，具有很好的精度與重復性。可精確測量極小流量，精度高，響應速度快，重復性好，經(jīng)過(guò)完全校準和溫度補償，同時(shí)具有線(xiàn)性模擬電壓輸出，方便使用。